Verfahren zur Herstellung eines gitterförmigen Kollimatorelements und gitterförmiges Kollimatorelement für einen Streustrahlenkollimator

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines Kollimatorelements (2) mit einer gitterförmigen Struktur für einen Streustrahlenkollimator aufweisend eine Vielzahl an Kollimatorwänden (1) mit einer Wandhöhe (h), umfassend die Schritte- Bereitstellen (S1) einer Saatstruktur (27) aufweisend...

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Main Authors Hintz, Barbara, Wirth, Stefan
Format Patent
LanguageGerman
Published 30.12.2021
Subjects
APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
CINEMATOGRAPHY
DIAGNOSIS
ELECTROGRAPHY
GAMMA RAY OR X-RAY MICROSCOPES
HOLOGRAPHY
HUMAN NECESSITIES
HYGIENE
IDENTIFICATION
IRRADIATION DEVICES
MATERIALS THEREFOR
MEASUREMENT OF NUCLEAR OR X-RADIATION
MEASURING
MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE
NUCLEAR ENGINEERING
NUCLEAR PHYSICS
ORIGINALS THEREFOR
PHOTOGRAPHY
PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES
PHYSICS
SURGERY
TECHNIQUES FOR HANDLING PARTICLES OR IONISING RADIATION NOTOTHERWISE PROVIDED FOR
TESTING
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Summary:Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines Kollimatorelements (2) mit einer gitterförmigen Struktur für einen Streustrahlenkollimator aufweisend eine Vielzahl an Kollimatorwänden (1) mit einer Wandhöhe (h), umfassend die Schritte- Bereitstellen (S1) einer Saatstruktur (27) aufweisend eine Saatstrukturhöhe (s) umfassend ein erstes Metall (M1), welche die gitterförmige Struktur des Kollimatorelements (2) aufweist,- Galvanisches Abscheiden (S2) eines zweiten Metalls (M2) auf der Saatstruktur (27) und dadurch Aufbauen der Kollimatorwände bis zu einem Erreichen der Wandhöhe (h).
Bibliography:Application Number: DE202010208094