Optische Anordnung mit einem F-Theta-Objektiv

• Main Authors: Tillkorn, Christoph, Dorer, Stefan, Brüstle, Reiner, Keller, Dominik, Marte, Tobias
• Format: Patent
• Language: German
• Published: 05.05.2022
• Subjects: OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS; OPTICS; PHYSICS

Optische Anordnung, insbesondere Scannervorrichtung (1), für einen Laserstrahl (5), umfassend:ein F-Theta-Objektiv (3),wobei das F-Theta-Objektiv (3) in einem divergenten Strahlengang (4) der optischen Anordnung (1) angeordnet ist, um den Laserstrahl (5) in eine Fokusebene (FE) zu fokussieren, die von einer Brennebene (BE) des F-Theta-Objektivs (3) beabstandet ist,dadurch gekennzeichnet, dass das F-Theta-Objektiv (3) genau drei im Strahlengang (4) hintereinander angeordnete Linsen (L1 bis L3) aufweist, und zwar:eine erste Linse (L1) mit negativer Brechkraft und mit einer ersten Brennweite f1, die als Bikonkavlinse ausgebildet ist,eine zweite Linse (L2) mit positiver Brechkraft und mit einer zweiten Brennweite f2, die als Plankonvexlinse oder als Konkav-Konvexlinse ausgebildet ist,eine dritte Linse (L3) mit positiver Brechkraft und mit einer dritten Brennweite f3, die als Plankonvexlinse oder als Bikonvexlinse ausgebildet ist. An optical arrangement for a laser beam includes an f-theta lens. The f-theta lens is disposed in a divergent beam path of the optical arrangement in order to focus the laser beam into a focus plane. The focus plane is located at a distance from a focal plane of the f-theta lens.