Magnetsystem

• Main Authors: Rank, Rolf, Langer, Martin
• Format: Patent
• Language: German
• Published: 31.03.2022
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; CHEMISTRY; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATIONOR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY IONIMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; COATING METALLIC MATERIAL; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS; ELECTRICITY; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION INGENERAL; METALLURGY; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THESURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann ein Magnetron-Magnetsystem (100), aufweisen: einen längserstreckten Träger (102, 202); zwei stirnseitige Endsegmente (116) und zwischen diesen ein mehrpoliges Mittelsegment (114), welche mittels des Trägers (102, 202) gehalten sind; wobei eines oder mehr als eines der zwei stirnseitigen Endsegmente (116): einen Magnetpol (116i) aufweist, welcher sich in Richtung von dem Mittelsegment (114) weg verjüngt; ein Paar Magneten (602, 802) aufweist, zwischen denen der Magnetpol (116i) angeordnet ist und welche aufeinander zu oder voneinander weg magnetisiert sind; wobei das Paar Magneten (602, 802) zwei Seiten (602a, 802a) aufweist, welche von dem Magnetpol (116i) abgewandt sind, wobei jede der zwei Seiten (602a, 802a) zumindest teilweise magnetisch freiliegt.