Solarzelle, Solarmodul und Verfahren zur Herstellung einer Solarzelle

• Main Authors: Peters, Stefan, Schwabedissen, Axel, Junghänel, Matthias
• Format: Patent
• Language: German
• Published: 17.02.2022
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; SEMICONDUCTOR DEVICES

Die Erfindung betrifft eine Solarzelle mit einem rückseitigen Schichtstapel, wobei der rückseitige Schichtstapel folgende Schichtfolge aufweist: eine AlOx-Schicht (1), eine erste SiNx-Schicht (2), eine zweite SiNx-Schicht (3), eine SiOxNy-Schicht (4), eine dritte SiNx-Schicht (5) und mindestens eine weitere Schicht (6, 7), die ausgewählt ist aus der Gruppe, bestehend aus SiOxNy, SiOx, AlOx, AlNx und AlF. Weiterhin betrifft die Erfindung ein Solarmodul, das die Solarzelle enthält. Ferner betrifft die Erfindung ein Verfahren zur Herstellung der Solarzelle, wobei der rückseitige Schichtstapel auf einem Substrat (10) in einer Rohr PECVD Anlage (8) mit einem Boot (9) als Substrathalter abgeschieden wird. A solar cell having a rear layer stack, wherein the rear layer stack has the following layer sequence: an AlOx layer, a first SiNx layer, a second SiNx layer, an SiOxNy layer, a third SiNx layer and at least one further layer, selected from the group consisting of SiOxNy, SiOx, AlOx, AINx and AlF. The invention further relates to a solar module comprising the solar cell, and a method of producing the solar cell, wherein the rear layer stack is deposited on a substrate in a tubular PECVD system with a boat as a substrate holder.