Reflexionsminderndes Schichtsystem und Verfahren zur Herstellung eines reflexionsmindernden Schichtsystems

• Main Authors: Munzert, Peter, Gärtner, Anne, Gratzke, Nancy, Schulz, Ulrike, Rickelt, Friedrich, Füchsel, Kevin
• Format: Patent
• Language: German
• Published: 22.06.2023
• Subjects: CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES, OR VITREOUSENAMELS; CHEMISTRY; GLASS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; METALLURGY; MINERAL OR SLAG WOOL; NANOTECHNOLOGY; OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS; OPTICS; PERFORMING OPERATIONS; PHYSICS; SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS,MINERALS OR SLAGS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; TRANSPORTING

Verfahren zum Herstellen eines reflexionsmindernden Schichtsystems (1) mit den Schritten:a) Bereitstellen eines Substrats (2);b) Abscheiden einer organischen Schicht (41) auf einer anorganischen Schicht (31) ;c) Ausbildung einer Strukturierung (5) der organischen Schicht durch einen Plasma-Ätzprozess, wobei eine Erhebung (51) der Strukturierung ein Höhe-zu-Breite-Verhältnis von mindestens 1,0 aufweist und sich die chemische Zusammensetzung der organischen Schicht verändert;d) Abscheiden von zumindest einer weiteren anorganischen Schicht (32);e) Durchführen einer Nachbehandlung, bei der sich die chemische Zusammensetzung des organischen Materials der organischen Schicht verändert und sich der Brechungsindex verringert; undf) Abscheiden einer anorganischen Deckschicht (35); wobei- ein effektiver Brechungsindex des Schichtsystems von der substratseitigen Oberfläche in Richtung der Grenzfläche zu einem Umgebungsmedium im Mittel abnimmt;- das effektive Brechungsindexprofil mindestens zwei lokale Minima (MIN1, MIN2,...) aufweist;- ein einer Grenzfläche zu dem Umgebungsmedium am nächsten gelegenes lokales Minimum von der Grenzfläche beabstandet ist; und- der effektive Brechungsindex unmittelbar an der Grenzfläche zu dem Umgebungsmedium größer ist als im Bereich des der Grenzfläche am nächsten gelegenen lokalen Minimums. In an embodiment a layer system includes an effective refractive index profile extending between a substrate-side surface and an interface with an ambient medium, wherein an effective refractive index of the layer system decreases on average from the substrate-side surface in a direction of the interface with the ambient medium, wherein the effective refractive index profile has at least two local minima, and wherein a local minimum closest to the interface with the ambient medium is spaced from the interface.