Stempelreplikationsvorrichtung und Verfahren zum Herstellen einer Halteeinrichtung für eine Stempelreplikationsvorrichtung sowie eines Stempels

• Main Authors: Fink, Georg, Pawlitzek, Fabian, Jalali, Ghazaleh, Vogler, Uwe, May, Christian
• Format: Patent
• Language: German
• Published: 12.11.2020
• Subjects: AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING; MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY; PERFORMING OPERATIONS; PROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTUREOR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDEDFOR; SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; TRANSPORTING; WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE, IN GENERAL

Eine Stempelreplikationsvorrichtung (10) zur Herstellung von Stempeln für die Herstellung von mikro- und/oder nanostrukturierten Bauteilen hat eine Plattform (14), einen auf die Plattform (14) aufsetzbaren Deckel (12) und eine Halteeinrichtung (32) für einen Stempelträger (28), wobei die Halteeinrichtung (32) am Deckel (12) oder an der Plattform (14) ausgebildet ist und einen Träger (33) sowie eine mikrostrukturierte Vakuumfläche (34) auf dem Träger (33) zur Halterung des Stempelträgers (28) aufweist. Des Weiteren wird ein Verfahren zur Herstellung eine Halteeinrichtung (32) für eine Stempelreplikationsvorrichtung (10) und ein Verfahren zur Herstellung eines Stempels angegeben. A stamp replication device for producing stamps for the production of at least one of microstructured and nanostructured components has a platform, a cover that is positionable on the platform and a holding device for a stamp carrier, wherein the holding device is provided on the cover or on the platform and includes a carrier as well as a microstructured vacuum surface on the carrier for holding the stamp carrier. In addition, a method for producing a holding device for a stamp replication device as well as a method for producing a stamp are specified.