METALL-ISOLATOR-METALL-KONDENSATOREN (MIM-KONDENSATOREN)

Implementierungen von Kondensatoren können einschließen: eine erste Elektrode, die eine erste Seite und eine zweite Seite aufweist. Außerdem kann der Kondensator eine Siliciumnitrid-Schicht (SiN-Schicht) einschließen, die auf der zweiten Seite der ersten Elektrode einschließend ist. In der Siliciumn...

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Main Authors Hasegawa, Akihiro, Piatt, Gregory Frank, Hose, Sallie J, Price, David T, Gambino, Jeffrey Peter, Bates, Kenneth Andrew, Allman, Derryl
Format Patent
LanguageGerman
Published 15.10.2020
Subjects
BASIC ELECTRIC ELEMENTS
ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
ELECTRICITY
SEMICONDUCTOR DEVICES
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Summary:Implementierungen von Kondensatoren können einschließen: eine erste Elektrode, die eine erste Seite und eine zweite Seite aufweist. Außerdem kann der Kondensator eine Siliciumnitrid-Schicht (SiN-Schicht) einschließen, die auf der zweiten Seite der ersten Elektrode einschließend ist. In der Siliciumnitrid-Schicht kann eine Öffnung eingeschlossen sein. Innerhalb der Öffnung der SiN-Schicht können die Kondensatoren eine dielektrische Schicht einschließen. Die dielektrische Schicht kann eine Vertiefung einschließen. Außerdem kann der Kondensator eine zweite Elektrode einschließen, die eine erste Seite und eine zweite Seite aufweist. Die erste Seite der zweiten Elektrode kann innerhalb der Vertiefung der dielektrischen Schicht eingeschlossen sein.
Bibliography:Application Number: DE20201002082