Messanordnung für Röntgenstrahlung für eine spaltfreie 1D-Messung

• Main Authors: Fink, Jürgen, Brügemann, Lutz, Venanzi, Cristian, Maurer, Christian
• Format: Patent
• Language: German
• Published: 27.08.2020
• Subjects: INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES; MEASURING; PHYSICS; TESTING

Zusammenfassend schlägt die vorliegende Erfindung vor, einen Röntgendetektor (21) mit einer Vielzahl von Detektormodulen (1, 1a-1g) auszubilden, die jeweils Totzonen (6) ohne Röntgensensitivität und Aktivzonen (3, 3a-3c) mit in einer Messrichtung (MR) ortsaufgelösten Röntgensensitivität umfassen, wobei die Detektormodule (1, 1a-1g) entlang der Messrichtung (MR) aufeinanderfolgend und überlappend ausgebildet sind, so dass in Überlappungsbereichen (23a-23e) die Totzone (6) eines Detektormoduls (1, 1a-1g) von einer Aktivzone (3, 3a-3c) eines anderen Detektormoduls (1, 1a-1g) überbrückt wird. Die überlappenden Detektormodule (1, 1a-1g) sind in den Überlappungsbereichen (23a-23e) in Querrichtung (QR) nebeneinander angeordnet, wobei die Querrichtung (QR) quer zur lokalen Messrichtung (MR) und quer zu einer lokalen Verbindungsrichtung (VR) zu einer Probenposition (91) verläuft. Mit dem Röntgendetektor (21) lässt sich auf einfache Weise eine lückenlose, eindimensionale Messinformation, insbesondere Röntgenbeugungsinformation, von einer Messprobe (96) an der Probenposition (91) gewinnen. In summary, the present invention proposes embodying an X-ray detector (21) with a plurality of detector modules (1, 1a-1g), each comprising dead zones (6) without X-ray sensitivity and active zones (3, 3a-3c) with X-ray sensitivity that is spatially resolved in a measurement direction (MR), wherein the detector modules (1, 1a-1g) are embodied successively and in an overlapping fashion along the measurement direction (MR), such that in overlap regions (23a-23e) the dead zone (6) of one detector module (1, 1a-1g) is bridged by an active zone (3, 3a-3c) of another detector module (1, 1a-1g). The overlapping detector modules (1, 1a-1g) are arranged next to one another in the transverse direction (QR) in the overlap regions (23a-23e), wherein the transverse direction (QR) runs transversely with respect to the local measurement direction (MR) and transversely with respect to a local connection direction (VR) with respect to a sample position (91). The X-ray detector (21) makes it possible, in a simple manner, to obtain gapless, one-dimensional measurement information, in particular X-ray diffraction information, from a measurement sample (96) at the sample position (91).