Massenspektrometer und Verfahren zur massenspektrometrischen Analyse eines Gases

• Main Authors: Chung, Anthony Hin Yiu, Brachthäuser, Yessica, Benter, Thorsten, Aliman, Michel, Reuter, Rüdiger
• Format: Patent
• Language: German
• Published: 02.04.2020
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS; ELECTRICITY

Die Erfindung betrifft ein Massenspektrometer (1) zur massenspektrometrischen Analyse eines Gases (2), umfassend: ein steuerbares Einlasssystem (6) zum gepulsten Zuführen des zu analysierenden Gases (2) aus einem Prozessbereich (4) außerhalb des Massenspektrometers (1) in einen Ionisierungsbereich (11), eine Ionisierungseinrichtung (14) zur Ionisierung des zu analysierenden Gases (2) in dem Ionisierungsbereich (11), eine lonentransfereinrichtung (21) zum Transferieren des ionisierten Gases (2a) von dem Ionisierungsbereich (11) über einen lonentransferbereich (20) in einen Analysebereich (25) und einen Analysator (26) zur Detektion des ionisierten Gases (2a) in dem Analysebereich (25). Die Erfindung betrifft auch ein zugehöriges Verfahren zur massenspektrometrischen Analyse eines Gases (2). The invention relates to a mass spectrometer for analysing a gas by mass spectrometry, comprising: a controllable inlet system for pulsed feeding of the gas to be analysed from a process region outside the mass spectrometer into an ionisation region, an ionisation device for ionising the gas to be analysed in the ionisation region, an ion transfer device for transferring the ionised gas from a ionisation region via an ion transfer region into an analysis region, and an analyser for detecting the ionised gas in the analysis region. The invention further relates to an associated method for mass spectrometrically analysing a gas.