Verfahren zum Herstellen eines Nanofilms, Sensoranordnung mit einem Nanofilm und Nanosieb mit einem Nanofilm

• Main Authors: Debie, Derek, Zoepfl, Alexander
• Format: Patent
• Language: German
• Published: 25.07.2024
• Subjects: INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MEASURING; MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICALDEVICES; MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY; NANOTECHNOLOGY; PERFORMING OPERATIONS; PHYSICS; PROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTUREOR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS; SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; TESTING; TRANSPORTING

Verfahren (100) zum Herstellen eines Nanofilms (250), mit folgenden Schritten:Bereitstellen (110) eines Mikrosiebs (210) mit einem ersten und einem zweiten genüberliegenden Hauptoberflächenbereich (210A, 210B), wobei Mikroporen (212) zwischen dem ersten und zweiten Hauptoberflächenbereich (210A, 210B) ausgebildet sind;Aufbringen (120) einer Nanomaterialsuspension (300) auf den ersten Hauptoberflächenbereich (210A) des Mikrosiebs (210), wobei die Nanomaterialsuspension (300) Nanomaterialpartikel (310) aufweist, wobei die Nanomaterialpartikel (310) als Nanomaterialplättchen oder Nanomaterialflocken ausgebildet sind; undAnlegen (130) eines Druckunterschieds an einer Mehrzahl der Mikroporen (212) zwischen dem ersten und dem zweiten Hauptoberflächenbereich (210A, 210B) des Mikrosiebs (210), um die Nanomaterialsuspension (300) in die Mikroporen (212) und/oder durch die Mikroporen (212) zu bewegen, so dass die Nanomaterialpartikel (310) an dem ersten Hauptoberflächenbereich (210A) und an Wandbereichen (212A) der Mikroporen (212) anhaften und den Nanofilm (250) ausbilden;wobei die Nanomaterialsuspension (300) mittels des Druckunterschieds in die Mikroporen (212), die durch Stege (216) mechanisch miteinander verbunden sind, bewegt wird, um den Nanofilm (250) ferner bereichsweise in den Mikroporen (212) und die Mikroporen (212) überspannend zwischen den Stegen (216) und auf den Stegen (216) an dem Mikrosieb (210) auszubilden. A method for producing a nanofilm includes providing a microsieve having a first and a second opposite surface region, wherein micropores are formed between the first and second surface regions; applying a nanomaterial suspension on the first surface region of the microsieve, wherein the nanomaterial suspension comprises nanomaterial particles; and creating a pressure difference at a plurality of the micropores between the first and second surface region of the microsieve in order to move the nanomaterial suspension into the micropores and/or through the micropores, such that the nanomaterial particles adhere to the first surface region and to the wall regions of the micropores and form the nanofilm.