Verfahren zum Herstellen eines Nanofilms, Sensoranordnung mit einem Nanofilm und Nanosieb mit einem Nanofilm

• Main Authors: Debie, Derek, Zoepfl, Alexander
• Format: Patent
• Language: German
• Published: 12.12.2019
• Subjects: INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MEASURING; MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICALDEVICES; MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY; NANOTECHNOLOGY; PERFORMING OPERATIONS; PHYSICS; PROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTUREOR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS; SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; TESTING; TRANSPORTING

Ein Verfahren 100 zum Herstellen eines Nanofilms 250 umfasst folgende Schritte: Bereitstellen 110 eines Mikrosiebs 210 mit einem ersten und einem zweiten genüberliegenden Oberflächenbereich 210A, 210B, wobei Mikroporen 212 zwischen dem ersten und zweiten Oberflächenbereich 210A, 210B ausgebildet sind; Aufbringen 120 einer Nanomaterialsuspension 300 auf den ersten Oberflächenbereich 210A des Mikrosiebs 210, wobei die Nanomaterialsuspension 300 Nanomaterialpartikel 310 aufweist; und Ausüben (130) eines Druckunterschieds an einer Mehrzahl der Mikroporen 212 zwischen dem ersten und zweiten Oberflächenbereich 210B des Mikrosiebs 210, um die Nanomaterialsuspension 300 in die Mikroporen 212 und/oder durch die Mikroporen 212 zu bewegen, so dass die Nanomaterialpartikel 310 an dem ersten Oberflächenbereich 210A und an den Wandbereichen 212 der Mikroporen 212 anhaften und den Nanofilm 250 ausbilden. A method for producing a nanofilm includes providing a microsieve having a first and a second opposite surface region, wherein micropores are formed between the first and second surface regions; applying a nanomaterial suspension on the first surface region of the microsieve, wherein the nanomaterial suspension comprises nanomaterial particles; and creating a pressure difference at a plurality of the micropores between the first and second surface region of the microsieve in order to move the nanomaterial suspension into the micropores and/or through the micropores, such that the nanomaterial particles adhere to the first surface region and to the wall regions of the micropores and form the nanofilm.