Vorrichtung mit einer von einer Rahmenstruktur begrenzten Funktionsstruktur und Verfahren zum Herstellen derselben

• Main Authors: Makaram, Prashanth, Pindl, Stephan, Travan, Caterina, Zoepfl, Alexander, Cooper, John, Ortner, Jörg
• Format: Patent
• Language: German
• Published: 19.08.2021
• Subjects: INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES; MEASURING; MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICALDEVICES; MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY; PERFORMING OPERATIONS; PHYSICS; PROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTUREOR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS; TESTING; TRANSPORTING

Vorrichtung mit:einem halbleiterbasierten Substrat (12) mit einer in oder an dem halbleiterbasierten Substrat (12) ausgebildeten Funktionsstruktur;einer Rahmenstruktur (16), die die Funktionsstruktur (14) umgibt;einer Beschichtung (22), die die Funktionsstruktur (14) bedeckt und von der Rahmenstruktur (16) begrenzt ist;wobei die Beschichtung (22) ein Nanomaterial, insbesondere ein Kohlenstoff-Nanomaterial, umfasst;wobei die Funktionsschicht (14) eine elektrisch leitfähige Funktion und/oder eine Schutzfunktion vor mechanischen und/oder chemischen Einflüssen bereitstellt;wobei die Vorrichtung als eines aus einem Chemosensor und einem Transistor gebildet ist. An apparatus includes a semiconductor-based substrate with a functional structure that is formed in or on the semiconductor-based substrate. The apparatus includes a frame structure surrounding the functional structure and includes a coating that covers the functional structure and is delimited by the frame structure.