Messanordnung zur frequenszbasierten Positionsbestimmung einer Komponente

• Main Authors: Königer, Andreas, Vogler, Alexander, Manger, Matthias
• Format: Patent
• Language: German
• Published: 28.11.2019
• Subjects: APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR; CINEMATOGRAPHY; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY; MATERIALS THEREFOR; MEASURING; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS; MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEARDIMENSIONS; ORIGINALS THEREFOR; PHOTOGRAPHY; PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES; PHYSICS; TESTING

Die Erfindung betrifft eine Messanordnung zur frequenzbasierten Positionsbestimmung einer Komponente, insbesondere in einem optischen System für die Mikrolithographie, mit wenigstens einem optischen Resonator, wobei dieser Resonator einen ortsfesten ersten Resonatorspiegel, ein der Komponente zugeordnetes bewegliches Messtarget und einen ortsfesten zweiten Resonatorspiegel aufweist, wobei der zweite Resonatorspiegel durch einen Umkehrspiegel (130, 330, 430, 530) gebildet ist, welcher einen vom Messtarget kommenden Messstrahl in sich zurückreflektiert. A measuring assembly for the frequency-based determination of the position of a component, in particular in an optical system for microlithography, includes at least one optical resonator, which has a stationary first resonator mirror, a movable measurement target assigned to the component, and a stationary second resonator mirror. The second resonator mirror is formed by an inverting mirror (130, 330, 430, 530), which reflects back on itself a measurement beam coming from the measurement target.