Scannerspiegel, Scannereinrichtung und Bestrahlungseinrichtung

• Main Authors: Brüstle, Reiner, Marte, Tobias
• Format: Patent
• Language: German
• Published: 17.10.2019
• Subjects: CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS; OPTICS; PERFORMING OPERATIONS; PHYSICS; SOLDERING OR UNSOLDERING; TRANSPORTING; WELDING; WORKING BY LASER BEAM

Die Erfindung betrifft einen Scannerspiegel (9a) zur Ablenkung eines Laserstrahls, umfassend: einen Grundkörper (12) sowie eine Spiegelfläche (15) zur Reflexion des Laserstrahls. Der Grundkörper (12) weist eine dreidimensional strukturierte Rückseite (14) auf und ist aus Glas, insbesondere aus Quarzglas, oder aus einer Glaskeramik, insbesondere aus Zerodur, gebildet. Die Erfindung betrifft auch eine Scannereinrichtung mit mindestens einem solchen Scannerspiegel (9a) sowie eine Bestrahlungseinrichtung mit einer solchen Scannereinrichtung. The invention relates to a scanning mirror (9a) for deflecting a laser beam, comprising: a base body (12) and a mirror (15) for reflecting the laser beam. The base body (12) has a three-dimensionallystructured rear side (14) and is made of glass, in particular quartz glass, or glass ceramic, in particular microcrystalline glass. The invention also relates to a scanning device having at least onesuch scanning mirror (9a) and to an illumination device having such a scanning device.