FLÜSSIGKEITSENTFERNUNGSVORRICHTUNG UND FLÜSSIGKEITSENTFERNUNGSVERFAHREN

• Main Author: Okada, Naotada
• Format: Patent
• Language: German
• Published: 20.09.2018
• Subjects: APPLYING LIQUIDS OR OTHER FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL; BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; PERFORMING OPERATIONS; PROCESSES FOR APPLYING LIQUIDS OR OTHER FLUENT MATERIALS TOSURFACES, IN GENERAL; SEMICONDUCTOR DEVICES; SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; TRANSPORTING

Gemäß einer Ausführungsform ist eine Flüssigkeitsentfernungsvorrichtung so gestaltet, dass sie eine Flüssigkeit durch Bestrahlen der Flüssigkeit mit einem Laserstrahl entfernt. Die Flüssigkeit haftet an einer Oberfläche eines Elements. Die Vorrichtung weist eine Laserlichtquelle und eine Energiesteuerung auf. Die Energiesteuerung ist so gestaltet, dass er eine Energieintensität an einer Bestrahlungsoberfläche ungleichmäßig verteilt, indem ein Laserstrahl, der von der Laserlichtquelle emittiert wird, in eine Vielzahl von Laserstrahlen aufgeteilt wird und ein Teil der geteilten Vielzahl von Laserstrahlen an einer Bestrahlungsposition überlagert wird, wo die Flüssigkeit haftet. A liquid removal apparatus is configured to remove a liquid by irradiating a laser beam on the liquid. The liquid is adhered to a surface of a member. The apparatus includes a laser light source, and an energy controller. The energy controller is configured to unevenly distribute an energy intensity at an irradiation surface by splitting, into a plurality of laser beams, a laser beam emitted from the laser light source and by overlaying a portion of the split plurality of laser beams at an irradiation position where the liquid is adhered.