Optische Anordnung zur Ausbildung von Strukturelementen mit schräg geneigten Oberflächen

• Main Authors: Alamri, Sabri, El-Khoury, Mikhael, Kunze, Tim, Voisiat, Bogdan, Lasagni, Andrés-Fabián
• Format: Patent
• Language: German
• Published: 17.12.2020
• Subjects: OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS; OPTICS; PHYSICS

Optische Anordnung zur Ausbildung von Strukturelementen mit schräg geneigten Oberflächen in Bezug zu einer Oberfläche mittels direktem Laserinterferenzstrukturieren, bei der mit mindestens einem optischen Element ein von einer Laserstrahlungsquelle emittierter Laserstrahl in mindestens zwei Teilstrahlen (1, und 2), deren optische Achsen parallel zueinander ausgerichtet sind, auf mindestens ein optisches Element (3, 4) undauf eine Oberfläche zur Ausbildung von Strukturelementen gerichtet sind; wobeidas mindestens eine optische Element (3, 4) in Bezug zur optischen Achse, in der die Teilstrahlen (1, 2) parallel zueinander ausgerichtet sind, senkrecht dazu translatorisch und dazuein optisches Element (3), das eine senkrecht zu den optischen Achsen der Teilstrahlen (1, 2) ausgerichtete translatorische Bewegung ausführt, ein fokussierendes optisches Element ist, wodurch der Einfallswinkel θ der auf die jeweilige Oberfläche auftreffenden Teilstrahlen 1, 2) veränderbar ist,oderein optisches Element (4), das eine senkrecht zu den optischen Achsen, mit denen die Teilstrahlen (1, 2) ausgerichtete translatorische Bewegung ausführt ein mit einer die Teilstrahlen (1, 2) reflektierenden Oberfläche versehenes Element ist, mit dem die Teilstrahlen (1, 2) in einem Winkel größer 0° auf die jeweilige zu strukturierende Oberfläche umlenkt und die Teilstrahlen (1, 2) in Abhängigkeit des vom optischen Element (4) mit der reflektierenden Oberfläche in Richtung der Achse in der die Teilstrahlen (1, 2) auf die reflektierende Oberfläche des optischen Elements (4) auftreffen bei einer translatorischen Bewegung zurück gelegten Weges der Einfallswinkel θ der Teilstrahlen (1, 2) auf die jeweilige Oberfläche beeinflussbar ist.