Vorrichtung und Verfahren zur Drehwinkeleinstellung des Magnetsystems eines Rohrmagnetrons

• Main Authors: Johannsen, Jan, Hübner, Armin
• Format: Patent
• Language: German
• Published: 31.01.2019
• Subjects: CHEMICAL SURFACE TREATMENT; CHEMISTRY; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATIONOR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY IONIMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; COATING METALLIC MATERIAL; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION INGENERAL; MEASURING; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS; MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEARDIMENSIONS; METALLURGY; PHYSICS; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THESURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; TESTING

Die Erfindung betrifft eine Flanscheinheit 11 zur drehbaren Halterung eines Magnetsystems 36 eines Rohrmagnetrons, ein solches Rohrmagnetron und ein Verfahren zur Winkeleinstellung des Magnetsystems 36. Die Flanscheinheit umfasst eine Hauptskala 1 und einen Nonius 2, welche als Scheiben ausgebildet sind und jeweils eine Drehwinkel-Skale 13 aufweisen. Hauptskala 1 und Nonius 2 sind konzentrisch und benachbart zueinander liegend angeordnet, wobei der Nonius 2 relativ zur Hauptskala 1 um ihre gemeinsame Achse 40 drehbar ist, Die Drehwinkel-Skalen 13 von Hauptskala 1 und Nonius 2 weisen voneinander abweichende Skalenteilungen auf. Hauptskala 1 und Nonius 2 weisen Verbindungsmittel auf, mit welchen die Hauptskala 1 mit einem statischen Bauteil des Rohrmagnetrons und der Nonius 2 mit dem Magnetsystem 36 mechanisch verbindbar sind. Mittels eines Arretierungsmittels 5 ist der eingestellte Drehwinkel des Nonius 2 relativ zur Hauptskala 1 arretierbar. The invention concerns a flange unit (11) for rotatably holding a magnet system (36) of a tubular magnetron, such a tubular magnetron and a method for adjusting the angle of the magnet system (36). The flange unit comprises a main scale (1) and a nonius (2), which are designed as discs and each have a rotation angle scale (13). Main scale (1) and nonius (2) are arranged concentrically and adjacent to each other, whereby nonius (2) can be rotated about its common axis (40) relative to main scale (1). The rotation angle scales (13) of main scale (1) and nonius (2) have different scale divisions. Main scale (1) and nonius (2) have connecting means with which the main scale (1) can be mechanically connected to a static component of the tubular magnetron and the nonius (2) to the magnet system (36). The set angle of rotation of the nonius (2) can be locked relative to the main scale (1) by means of a locking device (5).