Bifazial-Solarzelle, Solarmodul und Herstellungsverfahren für eine Bifazial-Solarzelle

• Main Authors: Schwabedissen, Axel, Junghänel, Matthias, Mertens, Verena, Cieslak, Janko
• Format: Patent
• Language: German
• Published: 07.06.2023
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; CHEMISTRY; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATIONOR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY IONIMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; COATING METALLIC MATERIAL; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION INGENERAL; METALLURGY; SEMICONDUCTOR DEVICES; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THESURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION

Bifazial-Solarzelle mit einem rückseitigen Schichtstapel, wobei der rückseitige Schichtstapel eine AlOx-Schicht (1), eine oder mehrere SiNx-Schichten (2, 3, 5) und eine SiOxNy-Schicht (4) aufweist, wobei ein Brechungsindex der AlOx-Schicht (1) im Bereich von 1,5 bis 1,7 liegt, ein Brechungsindex der SiNx-Schicht (2, 3, 5) im Bereich von 2,0 bis 2,4 liegt und ein Brechungsindex der SiOxNy-Schicht (4) im Bereich von 1,5 bis 1,9 liegt, gemessen nach DIN bei einer Wellenlänge von 632 nm, und wobei eine Dicke der AlOx-Schicht (1) im Bereich von 5 bis 20 nm liegt, eine Dicke einer auf einer von dem Substrat abgewandten Seite der AlOx-Schicht (1) angeordneten SiNx-Schicht (2, 3) im Bereich von 20 bis 50 nm liegt, eine Dicke einer von dem Substrat abgewandten Seite der SiOxNy-Schicht (4) angeordneten SiNx-Schicht (5) im Bereich von 5 bis 30 nm liegt und eine Dicke der SiOxNy-Schicht (4) im Bereich von 40 bis 80 nm liegt. The invention relates to a bifacial solar cell having a rear layer stack, characterised in that the rear layer stack has an AlOx layer (1), one or more SiNx layers (2, 3, 5), and an SiOxNy layer (4). The invention also relates to a solar module which has multiple such bifacial solar cells. The invention furthermore relates to a method for producing the bifacial solar cell in which the rear layer stack consisting of the AlOx layer (1), SiNx layer(s) (2, 3, 5) and SiOxNy layer (4) is deposited in a tube-type PECVD system with a graphite boat as the wafer holder, and the layers are applied successively in the same tube.