KANTENBELICHTUNGSWERKZEUG EINER ULTRAVIOLETTES (UV) LICHT EMITTIERENDEN DIODE (LED)

• Main Authors: Hsu, Han Wen, Wang, Ying-Hao, Lin, Yu-Shine, Lin, Yu-Xiang, Wu, Yu-Hen, Chung, Chia-Chi, Chung, Han-Chih
• Format: Patent
• Language: German
• Published: 18.08.2022
• Subjects: APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR; BASIC ELECTRIC ELEMENTS; CINEMATOGRAPHY; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; PHOTOGRAPHY; PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES; PHYSICS; SEMICONDUCTOR DEVICES

Verfahren zur Kantenbelichtung, wobei das Verfahren Folgendes umfasst:Empfangen eines Werkstücks (110), das durch eine lichtempfindliche Schicht (112) bedeckt ist;Belichten eines Kantenabschnitts (112e) der lichtempfindlichen Schicht (112), nicht aber eines Mittenabschnitts (112c) der lichtempfindlichen Schicht (112), mit Strahlung, die von einer Licht emittierenden Diode, LED (114), erzeugt wird, wobei sich der Kantenabschnitt (112e) der lichtempfindlichen Schicht (112) entlang des Werkstücks (110) in einem geschlossenen Weg erstreckt, um den Mittenabschnitt (112c) der lichtempfindlichen Schicht (112) zu umschließen; undBelichten eines Werkstück-ID-Abschnitts (404) der lichtempfindlichen Schicht (112) mit der Strahlung, ohne das Werkstück (110) von seiner Lage während des Belichtens des Kantenabschnitts (112e) zu bewegen, und ohne den Mittenabschnitt (112c) der lichtempfindlichen Schicht (112) zu belichten, wobei der Werkstück-ID-Abschnitt (404) der lichtempfindlichen Schicht (112) von dem Mittenabschnitt (112c) der lichtempfindlichen Schicht (112) umgeben ist.