Verfahren zum Betreiben einer industriellen Maschine

• Main Authors: Kamp-Froese, Michael, Schnier, Dietmar
• Format: Patent
• Language: German
• Published: 12.09.2019
• Subjects: ARRANGEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS FOR CHECKING NOT PROVIDEDFOR ELSEWHERE; CALCULATING; CHECKING-DEVICES; COMPUTING; COUNTING; DATA PROCESSING SYSTEMS OR METHODS, SPECIALLY ADAPTED FORADMINISTRATIVE, COMMERCIAL, FINANCIAL, MANAGERIAL, SUPERVISORYOR FORECASTING PURPOSES; GENERATING RANDOM NUMBERS; PHYSICS; REGISTERING OR INDICATING THE WORKING OF MACHINES; SYSTEMS OR METHODS SPECIALLY ADAPTED FOR ADMINISTRATIVE,COMMERCIAL, FINANCIAL, MANAGERIAL, SUPERVISORY OR FORECASTINGPURPOSES, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; TIME OR ATTENDANCE REGISTERS; VOTING OR LOTTERY APPARATUS

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Betreiben einer industriellen Maschine, welche eine Vielzahl von Maschinenkomponenten aufweist Gemäß einem Aspekt sind im Betrieb der Maschine vorkommende Betriebsstörungen dieser Maschinenkomponenten jeweils durch ein Symptom beschreibbar, wobei das Verfahren folgende Schritte aufweist: Erstellen einer Datenbank, in welcher unterschiedlichen Kombinationen dieser Symptome jeweils eine Ursache zugeordnet ist, automatisches Aufzeichnen, beim Auftreten eines Problems im Betrieb der Maschine, der innerhalb einer vorgebebenen Zeitspanne auftretenden Symptome, und automatisches Zuordnen einer Ursache zu dem Problem auf Basis der aufgezeichneten Symptome und der Datenbank. The invention relates to a method for operating a machine for microlithography which has a multiplicity of machine components. According to one aspect, malfunctions of these machine components that occur during the operation of the machine are each describable by a symptom, wherein the method includes the following steps: creating a database in which a cause is in each case assigned to different combinations of these symptoms, automatically recording the symptoms occurring within a predetermined time interval when a problem occurs during the operation of the machine and automatically assigning a cause to the problem on the basis of the recorded symptoms and the database.