Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung einer Oberfläche

Ein Verfahren zur optischen Bestimmung mindestens einer Oberfläche eines sich bewegenden Metallbandes, gekennzeichnet durch die Durchführung von Abstandsmessungen an örtlich begrenzten Messpunkten mit hoher Frequenz senkrecht zum Metallband im Mehrwellenlängeninterferometer-Verfahren sowie quer zur...

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Main Authors Krauhausen, Michael, Priem, Roland
Format Patent
LanguageGerman
Published 13.06.2019
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Summary:Ein Verfahren zur optischen Bestimmung mindestens einer Oberfläche eines sich bewegenden Metallbandes, gekennzeichnet durch die Durchführung von Abstandsmessungen an örtlich begrenzten Messpunkten mit hoher Frequenz senkrecht zum Metallband im Mehrwellenlängeninterferometer-Verfahren sowie quer zur Längserstreckung und zur Bewegungsrichtung des Metallbandes, wobei der Messort pro Zeiteinheit quer zur Bewegungsrichtung verändert wird und eine Vorrichtung zur Bestimmung mindestens einer Oberfläche eines sich bewegenden Metallbandes, wobei die Vorrichtung eine als Mehrwellenlängeninterferometer ausgebildete Abtasteinheit, eine Strahllenkungseinheit, wobei diese einen mit hoher Frequenz periodisch im Raum verstellbare Reflexionsebene aufweist, sowie eine oberhalb des Metallbandes angeordnete Spiegelanordnung und eine Auswerteeinheit aufweist.
Bibliography:Application Number: DE201810104624