WERKSTÜCK-POLIERKOPF

• Main Authors: Fuse, Takayuki, Shibuya, Kazutaka, Tsukada, Masayuki
• Format: Patent
• Language: German
• Published: 12.07.2018
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS; GRINDING; MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; PERFORMING OPERATIONS; POLISHING; SEMICONDUCTOR DEVICES; TRANSPORTING

Der Polierkopf (10) umfasst: ein Kopfhauptkörperteil (12); einen Träger (14), der mit dem Kopfhauptkörperteil (12) verbunden ist; eine Druckkammer (18); einen Fluidzuführungsabschnitt (47) zum Zuführen eines Fluid zu der Druckkammer (18); eine Linearbewegungsführung (40) mit einem äußeren, zylindrischen Körper (41) und einem Lagerschaft (42), der in dem äußeren, zylindrischen Körper (41) angeordnet, in axialer Richtung von diesem bewegbar und, um eine Achse, bezüglich des äußeren, zylindrischen Körpers (41) nicht drehbar ist, um so durch der äußere, zylindrische Körper (41) eine Drehkraft auf den Lagerschaft (42) zu übertragen; und eine Drehübertragungsplatte (45), die zwischen einem unteren Ende des Lagerschafts (42) und der Oberseite des Trägers (14) angeordnet ist, wobei die Drehübertragungsplatte (45) dazu geeignet ist, den Träger (14) neigbar zu stützen und eine Drehkraft des Lagerschafts (42) auf den Träger (14) zu übertragen. The polishing head comprises: a head main body part; a carrier being connected to the head main body part; a pressure chamber; a fluid supplying section; a linear motion guide having an outer cylindrical body and a spline shaft, which is provided in the outer cylindrical body and capable of moving in an axial direction thereof, and which is prohibited to rotate with respect to the outer cylindrical body so as to transmit a rotational force to the spline shaft through the outer cylindrical body; and a rotation transmitting plate being provided between a lower end of the spline shaft and an upper face of the carrier, the rotation transmitting plate being capable of tiltably supporting the carrier and transmitting a rotational force of the spline shaft to the carrier.