Verfahren und Vorrichtung zur Messung einer Schichtdicke eines Objekts

• Main Authors: Littau, Benjamin, Kremling, Stefan, Schober, Giovanni
• Format: Patent
• Language: German
• Published: 08.11.2018
• Subjects: ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION ORRERADIATION OF RADIO WAVES; MEASURING; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS; MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEARDIMENSIONS; PHYSICS; RADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; TESTING

Es wird ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Messung einer Schichtdicke eines Objekts beschrieben. Zunächst wird ein Objekt mit einer Schichtdicke bereitgestellt. Hieraufhin werden mindestens zwei Messschritte (M) durchgeführt, wobei jeweils elektromagnetische Strahlung mit Frequenzen (f) in einem dem jeweiligen Messschritt (M) zugeordneten Frequenzband (F) auf das Objekt eingestrahlt wird. Die Frequenzbänder (F) sind unterschiedliche Teilbereiche einer Bandbreite (B). Von Grenzflächen des Objekts ausgehende Sekundärstrahlung wird detektiert und ein dem Messschritt (M) zugehöriges Messsignal ermittelt. Die Messsignale werden gemäß der den jeweiligen Messschritten (M) zugehörigen Frequenzbänder (F) zu einem Auswertesignal zusammengeführt, hieraus eine Grundfrequenz bestimmt und die Schichtdicke berechnet. Durch das Verfahren kann mittels schmalbandiger Messschritte (M) eine große Bandbreite (B) realisiert werden. Hierdurch werden physikalische Grenzen bekannter Verfahren überwunden und die Messgenauigkeit erhöht. A method and device for measuring the layer thickness of an object. Initially, an object with a layer thickness is provided. Thereupon, at least two measurement steps are performed, where electromagnetic radiation with frequencies in a frequency band associated with the respective measurement step is radiated on the object in each case. The frequency bands are different portions of one bandwidth. Secondary radiation emanating from the boundary surfaces of the object is detected and a measurement signal associated with the measurement step is ascertained. The measurement signals are combined according to the respective frequency bands associated with the measurement steps in order to form an evaluation signal; a fundamental frequency is determined therefrom, and the layer thickness is calculated. A large bandwidth can be realized by a narrow-bandwidth measurement steps by the method. As a result, physical limits of known methods are overcome, and the measurement accuracy is increased.