MEMS- oder NEMS-basierter Sensor und Verfahren zum Betrieb eines solchen

Gegenstand der vorliegenden Erfindung ist ein MEMS- oder NEMS-basierter Sensor sowie ein Verfahren zu dessen Betrieb. Der Sensor ist streifenförmig aufgebaut und weist mindestens drei Abschnitte auf, wobei der erste Abschnitt der Halterung dient, der zweite Abschnitt geeignet ist, Wärme an den dritt...

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Main Authors Angelov, Tihomir, Holz, Mathias, Rangelow, Ivo W
Format Patent
LanguageGerman
Published 16.08.2018
Subjects
APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING PROBEMICROSCOPY [SPM]
INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
MEASURING
MEASURING ANGLES
MEASURING AREAS
MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEARDIMENSIONS
MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION,OR SHOCK
MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICALDEVICES
MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
PERFORMING OPERATIONS
PHYSICS
SCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS
TESTING
TRANSPORTING
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Summary:Gegenstand der vorliegenden Erfindung ist ein MEMS- oder NEMS-basierter Sensor sowie ein Verfahren zu dessen Betrieb. Der Sensor ist streifenförmig aufgebaut und weist mindestens drei Abschnitte auf, wobei der erste Abschnitt der Halterung dient, der zweite Abschnitt geeignet ist, Wärme an den dritten Abschnitt weiterzuleiten und der dritte Abschnitt bi-materiell ausgeführt ist, so dass eine Erwärmung des dritten Abschnitts dessen Krümmung zur Folge hat.
Bibliography:Application Number: DE201710202455