Verfahren zur Herstellung einer Mehrzahl von Laserdioden und Laserdiode

• Main Authors: Brückner, John, Gerhard, Sven
• Format: Patent
• Language: German
• Published: 22.09.2022
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; DEVICES USING STIMULATED EMISSION; ELECTRICITY

Verfahren zur Herstellung einer Mehrzahl von Laserdioden (1) mit folgenden Verfahrensschritten:- Bereitstellen einer Mehrzahl von Laserbarren (2) im Verbund (20), wobei die Laserbarren (2) jeweils eine Mehrzahl von nebeneinander angeordneten Laserdiodenelementen (3) umfassen, und die Laserdiodenelemente (3) ein gemeinsames Substrat (4) und jeweils eine auf dem Substrat (4) angeordnete Halbleiterschichtenfolge (5), die eine zur Erzeugung von elektromagnetischer Strahlung geeignete aktive Zone (6) umfasst, aufweisen, und wobei eine Zerteilung des Verbunds (20) an jeweils einer zwischen zwei benachbarten Laserbarren (2) verlaufenden Längstrennebene (y-y') zu einer Ausbildung von Laserfacetten (1C) der herzustellenden Laserdioden (1) führt,- Strukturierung des Verbunds (20) an zumindest einer Längstrennebene (y-y'), wobei im Substrat (4) ein strukturierter Bereich (8) erzeugt wird, und wobei- der strukturierte Bereich (8) eine entlang der Längstrennebene (y-y') kontinuierlich verlaufende Vertiefung (9) oder mehrere entlang der Längstrennebene (y-y') voneinander getrennte Vertiefungen (9) aufweist, wobei jeweils zwei benachbarte Vertiefungen (9) durch einen Substratbereich (4) voneinander getrennt sind, und- sich die zumindest eine Vertiefung (9) ausgehend vom Substrat (4) durch die Halbleitschichtenfolge (5) hindurch höchstens bis zur aktiven Zone (6) erstreckt, und- der strukturierte Bereich (8) eine parallel zu einer Ausrichtung der Laserbarren (2) verlaufende Haupterstreckungsrichtung (H) aufweist, wobei die Ausrichtung der Laserbarren (2) parallel zu den Längstrennebenen (y-y') verläuft. A method of producing a plurality of laser diodes includes providing a plurality of laser bars in a composite, wherein the laser bars each include a plurality of laser diode elements arranged side by side, and the laser diode elements include a common substrate and a semiconductor layer sequence arranged on the substrate, and a division of the composite at a longitudinal separation plane extending between two adjacent laser bars leads to formation of laser facets of the laser diodes to be produced, and structuring the composite at at least one longitudinal separation plane, wherein a structured region is produced in the substrate.