Sensorelement zur Erfassung von Partikeln eines Messgases in einem Messgasraum

Es wird ein Sensorelement (110) zur Erfassung von Partikeln eines Messgases in einem Messgasraum vorgeschlagen. Das Sensorelement (110) weist eine von dem Messgas überströmbare Oberfläche (112) auf sowie weiterhin einen im Wesentlichen parallel zu der Oberfläche (112) angeordneten Träger (114). Auf...

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Main Authors Herweg, Karola, Schilling, Carolin Maria, Tiefenbach, Andy, Baars, Enno
Format Patent
LanguageGerman
Published 26.04.2018
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Summary:Es wird ein Sensorelement (110) zur Erfassung von Partikeln eines Messgases in einem Messgasraum vorgeschlagen. Das Sensorelement (110) weist eine von dem Messgas überströmbare Oberfläche (112) auf sowie weiterhin einen im Wesentlichen parallel zu der Oberfläche (112) angeordneten Träger (114). Auf den Träger (114) ist ein Schichtaufbau (116) mit im Wesentlichen parallel zu der Oberfläche (112) angeordneten Schichten (118) aufgebracht, wobei der Schichtaufbau (116) eine erste Elektrodeneinrichtungen (120), eine zweite Elektrodeneinrichtungen (122) und eine die beiden Elektrodeneinrichtungen (120, 122) trennende elektrisch isolierende Zwischenschicht (124) umfasst. Mindestens eine der beiden Elektrodeneinrichtungen (120, 122) und die elektrisch isolierende Zwischenschicht (124) weisen eine Struktur auf und die Elektrodeneinrichtungen (120, 122) sind zumindest teilweise dem Messgas aussetzbar.
Bibliography:Application Number: DE201610220835