Mikromechanischer Drehratensensor und Verfahren zu dessen Herstellung

• Main Authors: Ohms, Torsten, Neul, Reinhard, Schmidt, Benjamin, Maul, Robert, Hattass, Mirko, Scheben, Rolf, Hoeppner, Christian, Heuck, Friedjof, Pruetz, Odd-Axel
• Format: Patent
• Language: German
• Published: 24.05.2017
• Subjects: GYROSCOPIC INSTRUMENTS; MEASURING; MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICALDEVICES; MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY; NAVIGATION; PERFORMING OPERATIONS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY; PHYSICS; PROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTUREOR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS; SURVEYING; TESTING; TRANSPORTING

Die Erfindung betrifft einen mikromechanischen Drehratensensor (100), der einen Rotationsschwinger (140) mit einem Rotationsschwinglager (157) aufweist. Das Rotationsschwinglager (157) umfasst einen Wippbalken (152), einen Wippfederstab (154), der den Wippbalken (152) federnd mit einem Substrat des Drehratensensors (100) verbindet, und zwei Lagerungsfederstäbe (153), die auf entgegengesetzten Seiten des Wippfederstabs (154) den Wippbalken (152) federnd mit dem Rotationsschwinger (140) verbinden. Unter einem weiteren Gesichtspunkt wird ein Verfahren zum Herstellen eines derartigen mikromechanischen Drehratensensors (100) bereitgestellt. A micromechanical rate-of-rotation sensor includes a first Coriolis element. The micromechanical rate-of-rotation sensor further includes a first drive beam arranged along the first Coriolis element. The first drive beam is coupled via a first spring to the first Coriolis element. The micromechanical rate-of-rotation sensor further includes a first drive electrode carrier extending from the first drive beam in a direction opposite to the first Coriolis element. The first drive electrode carrier is configured to carry a multiplicity of first drive electrodes extending parallel to the first drive beam.