Vorrichtung und Verfahren zum Bestimmen eines Abstandes und einer Dicke eines zumindest teilweise transparenten Materials

• Main Authors: Neeser, Dominik, Brueckner, Timon, Faisst, Hans-Joerg, Class, Juergen
• Format: Patent
• Language: German
• Published: 14.12.2017
• Subjects: INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES; MEASURING; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS; MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEARDIMENSIONS; PHYSICS; TESTING

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung (1; 2) zum Bestimmen eines Abstandes (x1) und/oder einer Dicke (d) eines zumindest teilweise transparenten Materials (12), mit einem Laser (11), welcher dazu ausgebildet ist, einen Laserstrahl (17) auf das Material (12) auszusenden, wobei ein erster reflektierter Laserstrahl (18a) durch Reflexion des ausgesendeten Laserstrahls (17) an einem ersten Auftreffpunkt (13) auf einer dem Laser (11) zugewandten Seite (12a) des Materials (12) entsteht, und wobei ein zweiter reflektierter Laserstrahl (18b) durch Reflexion des ausgesendeten Laserstrahls (17) an einem zweiten Auftreffpunkt (14) auf einer dem Laser (11) abgewandten Seite (12b) des Materials (12) nach Durchgang des Laserstrahls (17) durch das Material (12) entsteht; einer Steuereinrichtung (19), welche dazu ausgebildet ist, den Laser (11) derart anzusteuern, dass eine Wellenlänge des Laserstrahls (17) variabel ist; einer Erfassungseinrichtung (15), welche dazu ausgebildet ist, eine Interferenz des ausgesendeten Laserstrahls (17) mit dem ersten reflektierten Laserstrahl (18a) und dem zweiten reflektierten Laserstrahl (18b) zu erfassen; und einer Auswerteeinrichtung (16), welche dazu ausgebildet ist, anhand einer Änderung der erfassten Interferenz in Abhängigkeit von einer Änderung der Wellenlänge des Laserstrahls (17) durch die Steuereinrichtung (19) einen Abstand (x1) des ersten Auftreffpunkts (13) von der Erfassungseinrichtung (15) und einen Abstand (x2) des zweiten Auftreffpunkts (14) von der Erfassungseinrichtung (15) zu bestimmen, und daraus den Abstand (x1) des Materials (12) von der Erfassungseinrichtung (15) und/oder die Dicke (d) des Materials (12) zu bestimmen.