Stichprobenmessverfahren mit Stichprobenentnahmeratenentscheidungsschema und Computerprogrammprodukt hiervon

• Main Authors: Lyu, Jhao-Rong, Chen, Chun-Fang, Hsieh, Yao-Sheng, Cheng, Fan-Tien
• Format: Patent
• Language: German
• Published: 29.03.2018
• Subjects: CALCULATING; COMPUTING; COUNTING; ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING; PHYSICS

In einem Stichprobenmessverfahren mit einem Stichprobenentnahmeratenentscheidungsschema werden ein mittlerer absoluter prozentualer Fehler (MAPE) und ein maximaler absoluter prozentualer Fehler (MaxErr) von virtuellen Messwerten aller Werkstücke in einem Satz determinativer Stichproben (DS) und verschiedene Indexwerte, welche verschiedene Zustandsänderungen eines Bearbeitungswerkzeugs (wie etwa Wartungsvorgang, Teileaustausch, Parameterjustierung, etc.) und/oder Informationsanomalien des Bearbeitungswerkzeugs (wie etwa anormale Prozessdaten, Parameterdrift/-verschiebung, anormale Messdaten, etc.) erfassen können, welche in einem Herstellungsprozess auftreten, angewendet, um ein automatisiertes Stichprobenentscheidungs-(ASD)-Schema zum Reduzieren einer Werkstückstichprobenentnahmerate unter weiterer Aufrechterhaltung einer VM-Genauigkeit zu entwickeln. In a metrology sampling method with a sampling rate decision scheme, a mean absolute percentage error (MAPE) and a maximum absolute percentage error (MaxErr) of visual metrology values of all workpieces in a set of determinative samples (DS), and various index values that can detect various status changes of a process tool (such as maintenance operation, parts changing, parameter adjustment, etc.), and/or information abnormalities of the process tool (such as abnormal process data, parameter drift/shift, abnormal metrology data, etc.) appearing in a manufacturing process are applied to develop an automated sampling decision (ASD) scheme for reducing a workpiece sampling rate while VM accuracy is still sustained.