Reaktor zur Abscheidung von polykristallinem Silicium

• Main Authors: Kraus, Heinz, Kutza, Christian
• Format: Patent
• Language: German
• Published: 20.04.2017
• Subjects: CHEMISTRY; COMPOUNDS THEREOF; INORGANIC CHEMISTRY; METALLURGY; NON-METALLIC ELEMENTS

Die Erfindung betrifft einen Reaktor zur Abscheidung von polykristallinem Silicium, der seitlich und nach oben durch eine Reaktorwand und nach unten durch eine Bodenplatte begrenzt ist, umfassend mehrere auf der Bodenplatte angebrachte, durch direkten Stromdurchgang beheizbare Filamentstäbe, ein durch eine oder mehrere Öffnungen der Bodenplatte geführtes Zugassystem zum Einbringen eines Silicium enthaltenden Reaktionsgasgemisches in den Reaktor, und ein durch ein oder mehrere Öffnungen der Bodenplatte geführtes Abgassystem zum Abführen von Abgas aus dem Reaktor, dadurch gekennzeichnet, dass Zugassystem und/oder Abgassystem wenigstens ein Schutzelement umfassen, das aus Metall, aus Keramik oder aus CFC besteht, das Öffnungen oder Maschen aufweist, wobei die Öffnungen und die Maschen des Schutzelements so konfiguriert sind, dass unterhalb des Schutzelements nur Siliciumteile in das Zugas- oder Abgassystem gelangen können, die sich durch Spülen aus dem Zugas- oder Abgassystem entfernen lassen. The yield and quality of polysilicon rods produced in the Siemens process are increased by preventing pieces of silicon too large to be removed by flushing with gas from entering reaction gas inlets and offgas outlets by means of protective elements installed in the inlets and/or outlets.