Auflichtmikroskop zur Hell- und/oder Dunkelfeldmikroskopie

Ein Auflichtmikroskop (10; 10a; 10b; 10c) zur Hell- und/oder Dunkelfeldmikroskopie weist eine Beleuchtungseinrichtung (19; 19a; 19b; 19c) zur Beleuchtung einer Objektebene (14) auf, die einen ersten Beleuchtungspfad aufweist, und weist ein Objektiv (16) auf, das zumindest eine erste optische Baugrup...

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Main Authors MARZOK, CARSTEN, ZELLNER, JOHANNES, BAUER, MARKUS
Format Patent
LanguageGerman
Published 07.01.2016
Subjects
MEASURING
MEASURING ANGLES
MEASURING AREAS
MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEARDIMENSIONS
OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
OPTICS
PHYSICS
TESTING
TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES ORSTRUCTURES
TESTING STRUCTURES OR APPARATUS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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Summary:Ein Auflichtmikroskop (10; 10a; 10b; 10c) zur Hell- und/oder Dunkelfeldmikroskopie weist eine Beleuchtungseinrichtung (19; 19a; 19b; 19c) zur Beleuchtung einer Objektebene (14) auf, die einen ersten Beleuchtungspfad aufweist, und weist ein Objektiv (16) auf, das zumindest eine erste optische Baugruppe (24) und ein erstes reflektierendes Element aufweist. Das erste reflektierende Element (22) und die erste optische Baugruppe (24) legen durch ihre Anordnung eine optische Achse (26) fest, wobei das Objektiv (16) einen entlang der optischen Achse (26) verlaufenden Strahlengang (27) aufweist, entlang dem der erste Beleuchtungspfad (20) durch das erste reflektierende Element (22) verläuft. Die erste optische Baugruppe (24) ist zur Abbildung des von der Objektebene (14) kommenden Lichts entlang der optischen Achse (26) angeordnet, wobei das erste reflektierende Element (22) das von der Objektebene (14) kommende Licht zur Detektion durch einen Detektor (44) in Richtung derselben reflektiert. Die Beleuchtungseinrichtung (19; 19a; 19b; 19c) weist einen zweiten Beleuchtungspfad (32) auf, der zum ersten Beleuchtungspfad (20) zumindest teilweise getrennt verläuft und der durch ein in den Strahlengang (27) bewegbares zweites reflektierendes Element (34; 34a; 34b) zwischen dem ersten reflektierenden Element (22) und der ersten optischen Baugruppe (24) in den Strahlengang (27) einkoppelbar ist. Eine Waferinspektionsanlage (11) zum Inspizieren eines Objekts (12) weist ein Auflichtmikroskop (10; 10a; 10b; 10c) zur Hell- und/oder Dunkelfeldmikroskopie auf.
Bibliography:Application Number: DE201510212470