Mikromechanische Vorrichtung und Verfahren zum Herstellen einer mikromechanischen Vorrichtung

Die Erfindung schafft eine mikromechanische Vorrichtung sowie ein entsprechendes Herstellungsverfahren. Die Vorrichtung ist ausgebildet mit: Mikromechanische Vorrichtung (10) mit: einer Federeinrichtung (16; 216; 316; 416; 516), welche an mindestens einem Anbindungspunkt (24-i; 124) der Federeinrich...

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Main Authors Njikam Njimonzie, Frederic, Specht, Hendrik, Grutzeck, Helmut, Putignano, Massimiliano, Pruetz, Odd-Axel, Muchow, Joerg
Format Patent
LanguageGerman
Published 24.11.2016
Subjects
MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICALDEVICES
MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
PERFORMING OPERATIONS
PROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTUREOR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS
TRANSPORTING
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Summary:Die Erfindung schafft eine mikromechanische Vorrichtung sowie ein entsprechendes Herstellungsverfahren. Die Vorrichtung ist ausgebildet mit: Mikromechanische Vorrichtung (10) mit: einer Federeinrichtung (16; 216; 316; 416; 516), welche an mindestens einem Anbindungspunkt (24-i; 124) der Federeinrichtung (16) bewegbar an eine Rahmeneinrichtung (14) ankoppelbar oder angekoppelt ist; wobei die Federeinrichtung (16; 216; 316; 416; 516) mindestens einen Steg (18-i; 218-i; 318-i; 518-1) aufweist, welcher sich von dem mindestens einen Anbindungspunkt (24-i; 124) ausgehend erstreckt; und wobei der mindestens eine Steg (18-i; 218-i; 318-i; 518-1) derart strukturiert ist, dass er mindestens einen ersten Abschnitt (20-i; 220-i) sowie mindestens einen Verbreiterungsabschnitt (22-i; 222-i; 522) zum Verringern einer Nichtlinearität der Federeinrichtung (16) aufweist, welcher gegenüber dem ersten Abschnitt (20-i; 220-i) verbreitert ist. A micromechanical device and a corresponding manufacturing method. The micromechanical device includes: a spring element which is moveably coupleable or is moveably coupled to a frame unit at at least one connecting point of the spring element, the spring element including at least one web, which extends outward from the at least one connecting point; and the at least one web being structured in such a way that it includes at least one first section as well as at least one widening section for reducing a non-linearity of the spring element, which is widened compared to the first section.
Bibliography:Application Number: DE201510209030