Anordnung und Verfahren für winkelaufgelöste Reflektometrie, insbesondere im extremen ultravioletten Spektralbereich

Anordnung für winkelaufgelöste Reflektometrie, bei der wenigstens eine Strahlungsquelle (1), eine Probenhalterung für eine zu vermessende Probe (2) sowie ein Detektor (5) für Strahlung der Strahlungsquelle (1) so angeordnet sind, dass von der Strahlungsquelle (1) emittierte Messstrahlung auf eine Pr...

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Main Authors Danylyuk, Serhiy, Herbert, Stefan, Juschkin, Larissa, Tryus, Maksym, Lebert, Rainer
Format Patent
LanguageGerman
Published 10.06.2021
Subjects
INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
MEASURING
MEASURING ANGLES
MEASURING AREAS
MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEARDIMENSIONS
PHYSICS
TESTING
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Summary:Anordnung für winkelaufgelöste Reflektometrie, bei der wenigstens eine Strahlungsquelle (1), eine Probenhalterung für eine zu vermessende Probe (2) sowie ein Detektor (5) für Strahlung der Strahlungsquelle (1) so angeordnet sind, dass von der Strahlungsquelle (1) emittierte Messstrahlung auf eine Probenoberfläche einer in der Probenhalterung eingesetzten Probe (2) gerichtet und nach Reflexion an der Probe (2) vom Detektor (5) erfasst werden kann, dadurch gekennzeichnet, dass die Probenhalterung zusammen mit einem Umlenkspiegel (3) für die an der Probe (2) reflektierte Messstrahlung so auf einem um eine Drehachse drehbaren Träger angeordnet ist, dass sie eine parallele Einstellung der Probenoberfläche zu einer Spiegeloberfläche des Umlenkspiegels (3) ermöglicht.
Bibliography:Application Number: DE201510208181