Verfahren zum Glätten einer Oberfläche und optisches Element

Verfahren zum Glätten einer Oberfläche, umfassend: Plasmachemisches Ätzen der Oberfläche (2) durch Bewegen eines Plasmastrahls (7) und der Oberfläche (2) relativ zueinander, sowie nachfolgendes Teilchenstrahlbearbeiten der Oberfläche (2) durch Bewegen eines Teilchenstrahls und der Oberfläche (2) rel...

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Main Authors Arnold, Thomas, Weiser, Martin, Paetzelt, Hendrik, Böhm, Georg, Schindler, Axel, Frost, Frank
Format Patent
LanguageGerman
Published 03.01.2019
Subjects
CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES, OR VITREOUSENAMELS
CHEMISTRY
DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES
FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
GLASS
GRINDING
JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING
METALLURGY
MINERAL OR SLAG WOOL
OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
OPTICS
PERFORMING OPERATIONS
PHYSICS
POLISHING
SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS,MINERALS OR SLAGS
SURFACE TREATMENT OF GLASS
TRANSPORTING
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Summary:Verfahren zum Glätten einer Oberfläche, umfassend: Plasmachemisches Ätzen der Oberfläche (2) durch Bewegen eines Plasmastrahls (7) und der Oberfläche (2) relativ zueinander, sowie nachfolgendes Teilchenstrahlbearbeiten der Oberfläche (2) durch Bewegen eines Teilchenstrahls und der Oberfläche (2) relativ zueinander.
Bibliography:Application Number: DE201510204478