Verfahren zur Formgebung und/oder Formkorrektur mindestens eines optischen Elements

• Main Authors: Goy, Matthias, Appelfelder, Michael, Reinlein, Claudia, Leonhard, Nina
• Format: Patent
• Language: German
• Published: 02.09.2021
• Subjects: OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS; OPTICS; PHYSICS

Verfahren zur Formgebung und/oder Formkorrektur mindestens eines optischen Elements (5), umfassend die Schritte:- Messen der Form einer optischen Funktionsfläche (6) und der Dicke des optischen Elements (5) und Bestimmung der Abweichung von einer Zielform,- Herstellen einer Fassungsstruktur für das optische Element, wobei die Fassungsstruktur durch eine Anordnung von mehreren Fassungselementen (3) gebildet ist, und- Verbinden des optischen Elements (5) mit der Fassungsstruktur, wobei sich die Form der optischen Funktionsfläche unter Einwirkung der Gewichtskraft des optischen Elements (5) auf die Anordnung der Fassungselemente (3) in Richtung der Zielform verändert, wobei- aus Messdaten der Form der optischen Funktionsfläche (6) und der Dicke des optischen Elements (5) rechnergestützt ein dreidimensionales Modell des optischen Elements (5) erstellt wird, und- unter Verwendung des dreidimensionalen Modells eine Simulationsrechnung durchgeführt wird, um die Anordnung, die Höhen und/oder die Steifigkeit der Fassungselemente (3) derart zu bestimmen, dass gravitationsbedingte Verformungen der optischen Funktionsfläche des optischen Elementes (3) nach dem Verbinden mit der Fassungsstruktur der bestimmten Abweichung von der Zielform entgegenwirken. The invention relates to a method for the shaping and/or shape correction of at least one optical element, comprising the following steps: measuring the shape of an optical functional surface (6) and the thickness of the optical element (5) and determining the deviation from a target shape, producing a holding structure for the optical element, wherein the holding structure is formed by an assembly of a plurality of holding elements (3), and connecting the optical element (5) to the holding structure, wherein the shape of the optical functional surface is changed toward the target shape as the weight force of the optical element (5) acts on the assembly of the holding elements (3).