Bauteil mit zwei Halbleiter-Bauelementen, zwischen denen mindestens zwei hermetisch dichte Kavernen mit unterschiedlichen Innendrücken ausgebildet sind, und Verfahren zum Herstellen eines solchen Bauteils

• Main Authors: TEBJE, LARS, STAHL, HEIKO, NEUL, REINHARD, HEUCK, FRIEDJOF, GONSKA, JULIAN
• Format: Patent
• Language: German
• Published: 17.12.2015
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT; MEASURING; MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION,OR SHOCK; MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICALDEVICES; MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY; NAVIGATION; PERFORMING OPERATIONS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY; PHYSICS; PROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTUREOR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS; SEMICONDUCTOR DEVICES; SURVEYING; TESTING; TRANSPORTING

Zur gezielten Beeinflussung des Innendrucks innerhalb einer Kaverne (2) zwischen zwei Bauelementen (10, 20) eines Bauteils (100) wird vorgeschlagen, ein Gettermaterial (25) oder ein ausgasende Material in einer zusätzlichen Kaverne (3) zwischen den beiden Bauelementen (10, 20) anzuordnen. Nach dem B...