Wippeneinrichtung für einen mikromechanischen Z-Sensor

• Main Authors: Ortó, Andrea, Scheurle, Andreas, Heitz, Markus, Ullrich, Guenther-Nino-Carlo
• Format: Patent
• Language: German
• Published: 30.06.2022
• Subjects: INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT; MEASURING; MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION,OR SHOCK; MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICALDEVICES; MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY; PERFORMING OPERATIONS; PHYSICS; PROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTUREOR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS; TESTING; TRANSPORTING

Wippeneinrichtung (100) für einen mikromechanischen Z-Sensor (200), aufweisend:- zwei um eine Torsionsachse (10) lagerbare, wannenartig ausgebildete Wippenarme (20, 21), wobei die Wippeneinrichtung (100) bezogen auf die Torsionsachse (10) asymmetrisch ausgebildet ist; und- pro Wippenarm (20, 21) einen Anschlagsbereich mit wenigstens einem ersten Anschlagselement (30), wobei an jedem Wippenarm (20, 21) der Anschlagsbereich relativ zu einem Sensierbereich (SB) der Wippeneinrichtung (100) in Sensierrichtung definiert erhöht ausgebildet ist, wobei die Anschlagsbereiche jedes Wippenarms (20, 21) weiter von der Torsionsachse (10) beabstandet sind als die Sensierbereiche (SB) jedes Wippenarms (20, 21). A rocker device for a micromechanical Z sensor includes: two trough-shaped rocker arms mountable around a torsion pivot, the rocker device being configured asymmetrically with respect to the torsion pivot; and for each rocker arm, a strike region having at least one first strike element is provided, the strike region on each rocker arm being configured in definedly elevated fashion relative to a sensing region of the rocker device.