Verfahren und Vorrichtung zur unterseitigen Behandlung eines Substrats

• Main Authors: Weise, Katrin, Pediaditakis, Stephan Alexis, Queißer, Steffen, Ganter, Patrick, Sander, Bernd-Uwe
• Format: Patent
• Language: German
• Published: 25.05.2016
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; SEMICONDUCTOR DEVICES

Verfahren zum unterseitigen Behandeln eines flächigen Substrats (10) mit einem Behandlungsmedium (70), bei welchem eine Unterseite (14) des Substrats hydrophobiert wird, nachfolgend auf einer Oberseite (15) des Substrats (10) ein Schutzflüssigkeitsfilm (66) ausgebildet wird, nachfolgend das Behandlu...