Teilchenstrahlsystem und Verfahren zum Betreiben einer Teilchenoptik

• Main Authors: Bengesser, Nicole, Riedesel, Christof, Döring, Markus, Benner, Gerd, Jacobi, Jörg, Zeidler, Dirk, Kemen, Thomas, Müller, Ingo, Kynast, Jürgen, Thoma, Arne
• Format: Patent
• Language: German
• Published: 22.03.2018
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS; ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; PLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OFNEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMICBEAMS

Verfahren zum Betreiben einer Mehrstrahl-Teilchenoptik, wobei die Mehrstrahl-Teilchenoptik wenigstens zwei jeweils von einer Mehrzahl von Teilchenstrahlen durchsetzte teilchenoptische Komponenten aufweist, deren Wirkung auf die Teilchenstrahlen einstellbar ist, und wobei das Verfahren umfasst: (1) Bereitstellen einer ersten Einstellung der Wirkungen der teilchenoptischen Komponenten derart, dass eine erste Ebene mit Teilchen der Teilchenstrahlen teilchenoptisch in eine zweite Ebene abgebildet wird, wobei die teilchenoptische Abbildung durch wenigstens zwei Parameter charakterisierbar ist; (2) Bestimmen einer Matrix A derart, dass gilt:wobei: ... A method for operating a multi-beam particle optical unit comprises includes providing a first setting of effects of particle-optical components, wherein a particle-optical imaging is characterizable by at least two parameters. The method also includes determining a matrix A, and determining a matrix S. The method further includes defining values of parameters which characterize a desired imaging, and providing a second setting of the effects of the components in such a way that the particle-optical imaging is characterizable by the parameters having the defined values.