VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES BILDGEBERS UND EINER BILDGEBERVORRICHTUNG

• Main Authors: BRAUN, FELIX, MEINHOLD, DIRK, UHLIG, INES, BODINI, EMANUELE BRUNO, OFFENBERG, DIRK, GRUBER, HERMANN, PRUEGL, KLEMENS, HOECKELE, UWE
• Format: Patent
• Language: German
• Published: 25.09.2014
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; SEMICONDUCTOR DEVICES

Ein Herstellungsverfahren für einen Bildgeber umfasst Abscheiden von wenigstens einer ersten leitfähigen Schicht Strukturieren der wenigstens ersten leitfähigen Schicht, um für jedes Pixel des Bildgebers wenigstens eine erste Steuerelektrodenstruktur und eine zweite Steuerelektrodenstruktur zu erlangen und in einer Transistorregion des Bildgebers wenigstens eine Gate-Elektrodenstruktur zu erlangen; - Abscheiden einer zweiten Schicht und wenigstens einer Spacerschicht und Entfernen der zweiten Schicht in der Transistorregion, während die zweite Schicht wenigstens in einer Region, die sich zwischen der ersten und zweiten Steuerelektrodenstruktur erstreckt, verbleibt, wobei die zweite Schicht wenigstens ein Material umfasst, das sich von einem Material der zweiten Schicht unterscheidet; und - Zurückätzen der wenigstens einen Spacerschicht wenigstens in der Transistorregion, um eine Spacerstruktur wenigstens an den Seitenwänden der wenigstens einen Gate-Elektrodenstruktur zu bilden, wobei die zweite Schicht wenigstens in der Region verbleibt, die sich nach dem Zurückätzen der wenigstens einen Spacerschicht zwischen der ersten und zweiten Steuerelektrodenstruktur erstreckt. Techniques are discloses regarding methods of manufacturing an imager as well as an imager device.