Vorrichtung zur Porosifizierung eines Siliziumsubstrates

• Main Authors: Kühnlein, Holger, Dümpelfeld, Wolfgang
• Format: Patent
• Language: German
• Published: 30.08.2018
• Subjects: APPARATUS THEREFOR; BASIC ELECTRIC ELEMENTS; CHEMISTRY; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; ELECTROFORMING; ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; METALLURGY; PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTIONOF COATINGS; PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC REMOVAL OF MATERIALS FROMOBJECTS; SEMICONDUCTOR DEVICES

Vorrichtung zur Porosifizierung eines Siliziumsubstrates (1) mit einem Behandlungsbecken (13) zur Aufnahme einer Behandlungsflüssigkeit (14), einer kontinuierlich arbeitenden Transportvorrichtung (2) zum Führen des Substrates durch elektrochemische Prozessbereiche (7, 9, 10) mit mindestens einer Spannungsquelle (4), welche die Prozessbereiche elektrisch versorgt, dadurch gekennzeichnet, dass die Bereitstellung der elektrochemischen Prozessbereiche (7, 9, 10) des Substrates nur durch Flüssigkeitskontakte erfolgt, wobei das Siliziumsubstrat (1) sowohl anodisch als auch kathodisch einseitig auf derselben Seite kontaktiert ist und der elektrische Anodenkontakt (5, 5A, 5B) und der elektrische Kathodenkontakt (6, 6A, 6B) in Transportrichtung abwechselnd angeordnet sind und jeweils zwischen Anode und Kathode Trennmittel zur elektrischen Trennung angeordnet sind, so dass verhindert ist, dass der Strom über die Behandlungsflüssigkeit direkt von dem einen elektrischen Kontakt zum anderen fließt, sondern durch das Siliziumsubstrat (1) von einem Prozessbereich zum anderen.