Nasschemische Kontaktierung zur Herstellung von porösem Silizium

• Main Authors: KÜHNLEIN, HOLGER, DÜMPELFELD, WOLFGANG
• Format: Patent
• Language: German
• Published: 16.04.2015
• Subjects: APPARATUS THEREFOR; BASIC ELECTRIC ELEMENTS; CHEMISTRY; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; ELECTROFORMING; ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; METALLURGY; PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTIONOF COATINGS; PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC REMOVAL OF MATERIALS FROMOBJECTS; SEMICONDUCTOR DEVICES

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum massentauglichen und sicheren Herstellen von porösem Silizium im kontinuierlichen Betrieb auf Durchlauf- und Rotationsanlagen. Somit werden auch die dazugehörigen Vorrichtungen beschrieben um das poröse Silizium herzustellen.