Nasschemische Kontaktierung zur Herstellung von porösem Silizium

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum massentauglichen und sicheren Herstellen von porösem Silizium im kontinuierlichen Betrieb auf Durchlauf- und Rotationsanlagen. Somit werden auch die dazugehörigen Vorrichtungen beschrieben um das poröse Silizium herzustellen.

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Bibliographic Details
Main Authors KÜHNLEIN, HOLGER, DÜMPELFELD, WOLFGANG
Format Patent
LanguageGerman
Published 16.04.2015
Subjects
APPARATUS THEREFOR
BASIC ELECTRIC ELEMENTS
CHEMISTRY
ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
ELECTRICITY
ELECTROFORMING
ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES
METALLURGY
PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTIONOF COATINGS
PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC REMOVAL OF MATERIALS FROMOBJECTS
SEMICONDUCTOR DEVICES
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Summary:Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum massentauglichen und sicheren Herstellen von porösem Silizium im kontinuierlichen Betrieb auf Durchlauf- und Rotationsanlagen. Somit werden auch die dazugehörigen Vorrichtungen beschrieben um das poröse Silizium herzustellen.
Bibliography:Application Number: DE201310219839