Optische Struktur mit daran angeordneten Stegen und Verfahren zur Herstellung derselben

Es wird eine Vorrichtung mit einer optischen Struktur, Stegen und einem elektrostatischen Aktuator mit einer Auslegerelektrode beschrieben, bei der die Stege die optische Struktur mit einer tragenden Struktur verbinden und der elektrostatische Antrieb ausgebildet ist, um die optische Struktur auszul...

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Main Authors WIPPERMANN, FRANK, REIMANN, ANDREAS, LANGE, NICOLAS, BRÄUER, ANDREAS
Format Patent
LanguageGerman
Published 27.11.2014
Subjects
CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
ELECTRICITY
GENERATION
OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
OPTICS
PHYSICS
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Summary:Es wird eine Vorrichtung mit einer optischen Struktur, Stegen und einem elektrostatischen Aktuator mit einer Auslegerelektrode beschrieben, bei der die Stege die optische Struktur mit einer tragenden Struktur verbinden und der elektrostatische Antrieb ausgebildet ist, um die optische Struktur auszulenken. An apparatus having an optical structure, ridges and an electrostatic actuator with a cantilever electrode is described, wherein the ridges connect the optical structure to a supporting structure and the electrostatic drive is implemented to deflect the optical structure.
Bibliography:Application Number: DE201310209829