Drucksensor und Verfahren zur Herstellung eines Drucksensors

Die Erfindung betrifft einen Drucksensor, umfassend mindestens eine Messmembran (2), welche mindestens ein erstes Material aufweist, und mindestens eine Schutzschicht (9, 11), wobei die mindestens eine Schutzschicht (9, 11) auf zumindest einem Abschnitt einer Oberfläche (6) der Messmembran (2) oder...

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Main Authors BUDER, ULRICH, THAM, ANH TUAN, GETMAN, IGOR
Format Patent
LanguageGerman
Published 25.06.2015
Subjects
MEASURING
MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER,MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICALDEVICES
MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
PERFORMING OPERATIONS
PHYSICS
PROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTUREOR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS
TESTING
TRANSPORTING
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Summary:Die Erfindung betrifft einen Drucksensor, umfassend mindestens eine Messmembran (2), welche mindestens ein erstes Material aufweist, und mindestens eine Schutzschicht (9, 11), wobei die mindestens eine Schutzschicht (9, 11) auf zumindest einem Abschnitt einer Oberfläche (6) der Messmembran (2) oder auf zumindest einem Abschnitt einer Oberfläche (10) eines die Messmembran (4) umfassenden Schichtverbunds aufgebracht ist, wobei eine Höhe der mindestens einen Schutzschicht (9, 11) kleiner als oder gleich 20 nm, insbesondere kleiner als oder gleich 10 nm, ist, sowie ein Verfahren zur Herstellung eines Drucksensors.
Bibliography:Application Number: DE201310114615