Querschnittbearbeitungs- und -beobachtungsverfahren und Querschnitbearbeitungs- und -beobachtungsvorrichtung

• Main Authors: UEMOTO, ATSUSHI, MAN, XIN, ASAHATA, TATSUYA
• Format: Patent
• Language: German
• Published: 15.05.2014
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS; ELECTRICITY; INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES; MEASURING; PHYSICS; TESTING

Querschnittbearbeitungs- und -beobachtungsverfahren, das durch eine Querschnittbearbeitungs- und -beobachtungsvorrichtung durchgeführt wird, wobei das Verfahren umfasst: einen Querschnittbearbeitungsschritt zum Ausbilden eines Querschnitts durch Bestrahlen einer Probe mit einem Ionenstrahl; einen Querschnittbeobachtungsschritt zum Erhalten eines Beobachtungsbilds des Querschnitts durch Bestrahlen des Querschnitts mit einem Elektronenstrahl; und Wiederholen des Querschnittbearbeitungsschritts und des Querschnittbeobachtungsschritts, um Beobachtungsbilder einer Vielzahl von Querschnitten zu erhalten, wobei in einem Fall, in dem eine energiedispersive Röntgenspektrometrie-(EDS)-Messung des Querschnitts erfolgt und ein Röntgenstrahl eines spezifizierten Materials erfasst wird, eine Bestrahlungsbedingung des Ionenstrahls verändert wird, um Beobachtungsbilder einer Vielzahl von Querschnitten des spezifizierten Materials zu erhalten, und die Querschnittbearbeitung und -beobachtung des spezifizierten Materials durchgeführt wird. A cross-section processing and observation method performed by a cross-section processing and observation apparatus comprises a cross-section processing step of forming a cross-section by irradiating a sample with an ion beam; a cross-section observation step of obtaining an observation image of the cross-section by irradiating the cross-section with an electron beam; and repeating the cross-section processing step and the cross-section observation step so as to obtain observation images of a plurality of cross-sections. In a case where Energy Dispersive X-ray Spectrometry (EDS) measurement of the cross-section is performed and an X-ray of a specified material or of a non-specified material that is different from a pre-specified material is detected, an irradiation condition of the ion beam is changed so as to obtain observation images of a plurality of cross-sections of the specified material, and the cross-section processing and observation of the specified material is performed.