Kapazitive, keramische Druckmesszelle und Verfahren zu ihrer Herstellung

• Main Authors: ROSSBERG, ANDREAS, PONATH, NILS
• Format: Patent
• Language: German
• Published: 11.12.2014
• Subjects: MEASURING; MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER,MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE; PHYSICS; TESTING

Eine Druckmesszelle 1 weist eine keramische Messmembran 2 und einen keramischen Gegenkörper 4 auf, wobei die Messmembran 2 mit dem Gegenkörper 4 unter Bildung einer Druckkammer zwischen der Messmembran und dem Gegenkörper druckdicht gefügt ist, wobei die Druckmesszelle 1 weiterhin einen kapazitiven Wandler zum Erfassen einer druckabhängigen Verformung der Messmembran 2 aufweist, welcher mindestens eine an der Messmembran angeordnete Membranelektrode 8 und mindestens eine gegenkörperseitige Elektrode 10, 12 aufweist, wobei erfindungsgemäß mindestens eine Membranelektrode 2 ein Titanoxid aufweist. A pressure-measuring cell having a ceramic measuring membrane and a ceramic counter body, wherein the measuring membrane is joined to the counter body in such a way that a pressure chamber is formed between the measuring membrane and the counter body. The pressure-measuring cell also has a capacitive transducer for detecting a pressure-dependent deformation of the measuring membrane, which capacitive transducer has at least one membrane electrode arranged on the measuring membrane and at least one electrode on the counter body side, wherein according to the invention at least one membrane electrode comprises a titanium oxide.