Proben-Überwachungsverfahren, Proben-Vorbereitungsverfahren und Ladungspartikelstrahl-Vorrichtung

• Main Authors: Man, Xin, Uemoto, Atsushi
• Format: Patent
• Language: German
• Published: 16.09.2021
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS; ELECTRICITY; INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES; MEASURING; PHYSICS; TESTING

Proben-Beobachtungsverfahren zum Beobachten einer Beobachtungsfläche (7a) von einer Probe (7) durch ein Bestrahlen mit einem Ladungspartikelstrahl (8), wobei das Verfahren umfasst:Einstellen einer Neigung einer Probenstufe (6) mit Bezug auf den Ladungspartikelstrahl (8) derart, dass die Beobachtungs...