Proben-Überwachungsverfahren, Proben-Vorbereitungsverfahren und Ladungspartikelstrahl-Vorrichtung

• Main Authors: Man, Xin, Uemoto, Atsushi
• Format: Patent
• Language: German
• Published: 16.09.2021
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS; ELECTRICITY; INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES; MEASURING; PHYSICS; TESTING

Proben-Beobachtungsverfahren zum Beobachten einer Beobachtungsfläche (7a) von einer Probe (7) durch ein Bestrahlen mit einem Ladungspartikelstrahl (8), wobei das Verfahren umfasst:Einstellen einer Neigung einer Probenstufe (6) mit Bezug auf den Ladungspartikelstrahl (8) derart, dass die Beobachtungsfläche (7a) senkrecht zum Ladungspartikelstrahl (8) steht;Platzieren der Probenstufe (6) bei einem ersten Neigungswinkel mit Bezug auf den Ladungspartikelstrahl (8), und Bestrahlen der Beobachtungsfläche (7a) mit dem Ladungspartikelstrahl (8), um ein erstes Ladungspartikel-Bild zu erlangen;Neigen der Probenstufe (6) auf einen zweiten Neigungswinkel, welcher sich vom ersten Neigungswinkel unterscheidet, um eine erste Probenstufen-Achse (23), und Bestrahlen der Beobachtungsfläche (7a) mit dem Ladungspartikelstrahl (8), um ein zweites Ladungspartikel-Bild zu erlangen;Vergleichen eines Bereichs der Beobachtungsfläche (7a) in dem ersten Ladungspartikel-Bild mit einem Bereich der Beobachtungsfläche (7a) in dem zweiten Ladungspartikel-Bild,Berechnen eines optimalen Neigungswinkels der Probenstufe (6) aus dem Vergleich, bei welchem der Bereich der Beobachtungsfläche (7a) im erlangten Ladungspartikel-Bild größer ist,Neigen der Probenstufe (6) auf den optimalen Neigungswinkel; undBestrahlen der Beobachtungsfläche (7a) mit dem Ladungspartikelstrahl (8), um die Beobachtungsfläche (7a) zu beobachten. In a sample observation method, a sample stage is placed at a first tilt angle with respect to a charged particle beam, and an observation surface of a sample is irradiated with the charged particle beam to acquire a first charged particle image. The sample stage is then tilted to a second tilt angle different from the first tilt angle about a first sample stage axis, and the observation surface is again irradiated with the charged particle beam to acquire a second charged particle image. The sample stage is tilted to a tilt angle at which an area of the observation surface in the acquired charged particle image is the larger of the first charged particle image and the second charged particle image. The observation surface is then irradiated with the charged particle beam to observe the observation surface.