Apparatus for coating substrates in coating chamber with crucible system, has crucible system with unit to transmit power from drive unit to crucible outside drive chamber which is in air-tight state against coating chamber interior

• Main Authors: LAIMER, GEORG, HAUFE, DIETRICH, HEINEN, RONNY
• Format: Patent
• Language: English; German
• Published: 31.10.2013
• Subjects: CHEMICAL SURFACE TREATMENT; CHEMISTRY; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATIONOR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY IONIMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; COATING METALLIC MATERIAL; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION INGENERAL; METALLURGY; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THESURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION

The apparatus has movable funnel (12) for receiving the evaporation material (21), so that the surface of the evaporation material is arranged opposite to the to-be-coated substrate. The crucible system (8) comprises drive unit (13) for performing a rotational movement or a translation of the funnel. The drive unit is arranged in a drive chamber (28). The crucible system comprises unit (26) for transmitting power from the drive unit to the crucible outside the drive chamber. The drive chamber is made air-tight against the interior of the coating chamber. Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Beschichtung von Substraten 3, welche durch eine Beschichtungskammer bewegt und dabei beschichtet werden, umfassend einem Transportsystem 5 zum Transport des Substrats durch die Beschichtungskammer, sowie einem Tiegelsystem 8, welches zur Aufnahme von Verdampfungsmaterial 21 einen beweglichen Tiegel 12 aufweist. Der Erfindung liegt die Aufgabenstellung zu Grunde, eine Vorrichtung zur Beschichtung von Substraten anzugeben, so dass die Inhomogenität der Verdampfung, welche aus einer Ungleichförmigkeit einer Tiegelbewegung resultiert, reduziert wird und somit eine homogenere Schichtdickenverteilung auf einem zu beschichtenden Substrat 3 abgeschieden werden kann. Die Aufgabe wird dadurch gelöst, dass eine Vorrichtung zur Beschichtung von Substraten 3 in einer Beschichtungskammer mit einem Tiegelsystem 8, welches zur Aufnahme von Verdampfungsmaterial 21 zumindest einen beweglichen Tiegel 12 aufweist, so dass die Oberfläche des Verdampfungsmaterials 21 einem zu beschichtenden Substrat 3 gegenüber liegend angeordnet ist, eine Antriebseinrichtung 13 zur Ausführung einer Drehbewegung oder einer Translation des Tiegels 12 aufweist, welche in einer luftdicht gegenüber dem Inneren der Beschichtungskammer ausgeführten Antriebskammer 28 angeordnet sowie über Mittel der Leistungsübertragung 26 mit dem Tiegel 12 außerhalb der Antriebskammer 28 verbunden ist.